微型無油真空泵即微型隔膜泵,是指具備一進(jìn)一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個(gè)，并且在進(jìn)口處能夠持續(xù)形成真空或負(fù)壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質(zhì)主要為氣體，體積小巧的一種儀器。
    微型無油真空泵的基本原理：電機(jī)的圓周運(yùn)動(dòng)，通過機(jī)械裝置使泵內(nèi)部的隔膜做往復(fù)式運(yùn)動(dòng)，從而對固定容積的泵腔內(nèi)的空氣進(jìn)行壓縮、拉伸形成真空（負(fù)壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。隨著儀器儀表工業(yè)的蓬勃發(fā)展，體積小巧、無油的微型真空泵、微型氣泵得到越來越廣泛的使用。
    微型泵的可靠性問題。 根據(jù)微型無油真空泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定，根據(jù)自己的要求。品的平均無故障連續(xù)運(yùn)行時(shí)間都大于1000小時(shí)，有的高到數(shù)千小時(shí)。特別注意，這項(xiàng)參數(shù)是在滿負(fù)荷、不間斷的運(yùn)行狀態(tài)下測定的，是惡劣的工況，如果實(shí)際使用不是滿載或連續(xù)運(yùn)行，該數(shù)值會(huì)高一些，高多少視泵的工況而定。