2XZ系列旋片式真空泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡?。是利用兩個(gè)8字形轉(zhuǎn)子在泵殼中旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的。其原理和羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于它在低壓力范圍內(nèi)工作，氣體分子自由程較大，氣體漏過(guò)微小縫隙的阻力很大，因而能獲得較高的壓縮比，可以作為增壓真空泵使用；但它不能單獨(dú)地把氣體直接排到大氣中去，需要和前級(jí)真空泵串聯(lián)使用，被抽氣體通過(guò)前級(jí)真空泵排到大氣中去。